洁净室设备
-
高纯电子化学品容器:保障芯片制造纯净之源的“隐形卫士”
一、什么是高纯电子化学品容器 在半导体、光电显示、太阳能电池及集成电路制造等高科技产业中,高纯电子化学品(Electronic Grade Chemicals, EGC)被广泛用于晶圆清洗、刻蚀、掺杂及薄膜沉积等关键工艺。这些化学品对纯度的要求极高,杂质控制需达到ppb(十亿分之一)甚至ppt(万亿分之一)级别。 而能够安全存储、运输、分配这类化学品的,就是高纯电子化学品容器。它不仅是一个简单的盛…
